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                咨詢熱線0731-82041235
                氣體質量流量器
                DSN-MFM熱式氣體質量流量計

                DSN-MFM熱式氣體質量流量計

                • 簡介:

                相關說明:

                  標準量程(N2):0~5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM; 0~1、2、3、5、10、20、30、50、100、200SLM;
                  準精度:±1%F.S;
                  重復精度:±0.2%F.S
                  響應時間:電特性 <10sec
                  氣特性<1~4sec 氣體流量控制器線性:±(0.5~1)%F.S
                  工作壓差范圍:0.05~0.3MPa
                  氣體流量控制器耐壓:3,10MPa;
                  工作環境溫度:5~45℃
                  輸入輸出信號電壓:0~+5.00V
                  電源:+15V500mA、-15V500mA(輸入阻抗大于100K,輸出電流不大于3mA)
                  電連接器:D14pin
                  外形尺寸:130*28*121mm
                  重量:約1.0kg
                  接口尺寸:Swagelok:Φ3.Φ6.Φ10.Φ1/4〞.Φ3/8〞.... VCR接頭:Φ1/4〞.Φ3/8〞.Φ1/8〞........
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